全自動(dòng)制絨酸洗綜合設(shè)備(單晶/單、多晶混合) 1、***行走機(jī)械臂，運(yùn)行平穩(wěn)。全自動(dòng)控制行程模式，優(yōu)良的制程調(diào)控能力，穩(wěn)定的高產(chǎn)出率及低破片率，適用于批量生產(chǎn)線2、1800片（156*156）/小時(shí)超大產(chǎn)能。3、全面完善的防酸防腐措施，保護(hù)到機(jī)器每一個(gè)角落，較新全自動(dòng)補(bǔ)液技術(shù)。4、獨(dú)特的硅片干燥前處理技術(shù)，保證硅片干燥不留任何水痕。5、成熟的硅片干燥工藝，多種先進(jìn)技術(shù)集于一身。6、彩色大屏幕人機(jī)界面操作，方便參數(shù)設(shè)置及多工藝方式轉(zhuǎn)換。